Bis zum Frühjahr 1943 wurden 20 Baracken aufgestellt, von denen anfangs 14 als Wohnunterkünfte für 3.800 Häftlinge dienten. Ende 1943 gab es im Lager 7000 Zwangsarbeiter. Da der weitere Ausbau nicht Schritt hielt, wurden im Sommer 1944 zwei große Zelte für 700 Häftlinge aufgestellt. Im Juli 1944 wurde die Lagerstärke mit einem Höchststand von 11.000 männlichen überwiegend jüdischen Zwangsarbeitern festgestellt. Am 18. Januar 1945 wurde das Lager „evakuiert“. Diejenigen Häftlinge, die laufen konnten, wurden auf Todesmärsche in weiter westlich gelegene Lager geschickt. Am 27. Januar 1945 wurde das Lager von der Roten Armee befreit; etwa 650 Häftlinge wurden vorgefunden.
Monowitz war das größte Zwangsarbeitslager im Bereich des Konzentrations- und Vernichtungslagers Auschwitz.